半導体向けCO2洗浄機を開発【リンクスタージャパン】

2009年4月8日 12:00 PM

開発した卓上型CO2洗浄機

　フラットパネルディスプレー製造装置の開発販売を中心に手掛けるリンクスタージャパン（桐生市境野町、亀井政行社長）は、半導体工場をメーンターゲットとした卓上型ＣＯ２洗浄機「ミニマイクロスノークリーナー」を開発した。洗浄液の排水処理などといったランニングコストを削減できる点や、洗浄対象を傷つけず人体にも無害という特性をアピールし、拡販していく方針だ。