ウエハー洗浄液から微量金属除去【日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所】

2010年10月18日 12:00 PM

微量金属を除去するメカニズム

 日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所(高崎市綿貫町)はこのほど、倉敷繊維加工(大阪市中央区)、野村マイクロ・サイエンス(神奈川県厚木市)と共同で、シリコンウエハーの洗浄工程で使用する薬液から、微量金属を除去する繊維製フィルター「メナレート」を開発した。グラフト重合と呼ばれる分子間の“接ぎ木”技術を活用したもので、

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